別紙1 事務連絡 平成19年1月10日 厚生労働省労働基準局安全衛生部安全課長 殿 広島労働局労働基準部安全衛生課長 高純度ガス精製装置に使用する第二種圧力容器に対する 高圧力容器構造規格第31条の適用の特例について(伺い) 標記について、当局管内の製造業者から、別添のとおり圧力容器構造規格の適用の特例に係る申請があ りましたが、これについては下記2の理由により、圧力容器構造規格第73条において準用する同規格第70 条の特例を認め、同規格第31条に適合するものとみなして差し支えないか、お伺いします。 記 1 第二種圧力容器の概要 (1)本容器は高純度ガス精製装置の一部として設置され、主に半導体やLCDの製造等で使用される窒素 ガス、酸素ガス、水素ガスなどに含まれている、ごく微量の不純物を除去し、高純度ガスを供給す る装置である。 (2)本容器はステンレス製の筒(精製筒)であり、内部に触媒や吸着剤を充填することでガス中の不 純物を除去している。筒は2筒以上の切り替え方式とし、一定量の不純物を除去した筒は、加熱し たガスを通気することで再生しており、不純物及び反応生成物は蓄積されない。 (3)高純度ガスを供給する目的から装置の気密性が必須条件であり、溶接構造としている。 2 特例を認める理由 (1)本容器は気密性が高く、処理するガスの純度は、入口側が1000ppb以下、出口側が0.1ppb以下であ り、容器の触媒や吸着剤を一定期間で再生使用することにより、スケール又は沈殿物等の蓄積がな いなど、外気よりも不純物濃度が低く維持されることから、腐食の発生は考えられないこと。 (2)日常点検及び定期点検による外観確認、気密検査等により、容器のクラック及び変形等を確認で きること。